ტემპერატურისა და ტენიანობის სენსორი ნახევარგამტარული სუფთა ოთახის ტემპერატურის ტენიანობის კონტროლის სქემისთვის
პროდუქტის ჩვენება
Ტემპერატურადასუფთა სივრცის ტენიანობა ძირითადად განისაზღვრება პროცესის მოთხოვნების მიხედვით, მაგრამ პროცესის მოთხოვნების დაკმაყოფილების პირობებში მხედველობაში უნდა იქნას მიღებული კომფორტის შეგრძნება.ჰაერის სისუფთავის მოთხოვნების გაუმჯობესებით, შეინიშნება უფრო და უფრო მკაცრი მოთხოვნები ტემპერატურისა და ტენიანობის მიმართ.
რამდენადაც დამუშავების სიზუსტე უფრო და უფრო კარგია, ამიტომ ტემპერატურის მერყეობის დიაპაზონი სულ უფრო და უფრო ნაკლებია.მაგალითად, ფართომასშტაბიანი ინტეგრირებული მიკროსქემის წარმოების ლითოგრაფიული ექსპოზიციის პროცესში, თერმული გაფართოების კოეფიციენტის სხვაობა მინასა და სილიკონის ვაფლს შორის, როგორც ნიღბის მასალა, უნდა იყოს უფრო და უფრო მცირე.დიამეტრი 100 მმ სილიკონის ვაფლი, ტემპერატურის მატება 1 გრადუსი, გამოიწვევს 0.24 მმ ხაზოვან გაფართოებას, ამიტომ უნდა იყოს ±0.1 გრადუსი ტემპერატურა, ამავდროულად ტენიანობის მნიშვნელობა ზოგადად დაბალია, რადგან ადამიანები ოფლიანდებიან, პროდუქტს ექნება დაბინძურება. განსაკუთრებით ეშინია ნატრიუმის ნახევარგამტარების სახელოსნოს, ეს სახელოსნო არ უნდა აღემატებოდეს 25 გრადუსს.
მაღალი ტენიანობა უფრო მეტ პრობლემებს იწვევს.როდესაც ფარდობითი ტენიანობა 55%-ს აჭარბებს, გამაგრილებელი წყლის მილის კედელზე ნამი წარმოიქმნება, რაც გამოიწვევს სხვადასხვა ავარიებს, თუ ეს მოხდება ზუსტ მოწყობილობებში ან სქემებში.როდესაც ფარდობითი ტენიანობა 50%-ია, ადვილად იჟანგება.გარდა ამისა, როდესაც ტენიანობა ძალიან მაღალია, სილიკონის ჩიპის ზედაპირზე ჩარჩენილი მტვერი ქიმიურად შეიწოვება ზედაპირზე, რათა გაუძლოს მოცილებას.რაც უფრო მაღალია ფარდობითი ტენიანობა, ადჰეზია ძნელია ამოღება, მაგრამ როდესაც ფარდობითი ტენიანობა 30% -ზე დაბალია, ნაწილაკები ადვილად შეიწოვება ზედაპირზე ელექტროსტატიკური ძალის მოქმედების გამო და დიდი რაოდენობით ნახევარგამტარული მოწყობილობებია. მიდრეკილება რღვევისკენ.ვაფლის წარმოებისთვის ოპტიმალური ტემპერატურის დიაპაზონი არის 35-45%.
ამიტომ, ტემპერატურისა და ტენიანობის კონტროლი განსაკუთრებით მნიშვნელოვანია, HENGKO-ს შეუძლია მოგაწოდოთ მთელი რიგიტემპერატურისა და ტენიანობის გადამცემის მორგებული დამუშავების გადაწყვეტილებები!
ტემპერატურისა და ტენიანობის სენსორი ნახევარგამტარული სუფთა ოთახის ტემპერატურის ტენიანობის კონტროლის სქემისთვის
ვერ პოულობთ პროდუქტს, რომელიც აკმაყოფილებს თქვენს მოთხოვნებს?დაუკავშირდით ჩვენს გაყიდვების პერსონალსOEM/ODM პერსონალიზაციის სერვისები! 
